Bowman X-ray测厚仪 光学毛细管聚焦结构测量更小更薄镀层

美国博曼BA-100 M系列毛细管优势：

毛细管光学基本理论

1984年库马霍夫在莫斯科提出毛细管光学，这一新兴学科，毛细管光学基于全反射原理。当光线从较高折射率的介质进入到较低折射率的介质时，如果入射角大于某一临界角θc（光线远离法线）时，折射光线将会消失，所有的入射光线将被反射而不进入低折射率的介质。

如右图所示，光线从折射率较高的n1介质进入折射率较低的n2介质：

当入射角θ1<临界角θc时，光线同时发生向n2介质中的折射，以及向n1介质中的反射（右图红色光线所示）

当入射角θ2>临界角θc时，向n2介质中折射的光线消失，所有光线向n1介质中反射

采用毛细管的机型减小了平方反比损失

平方反比规则是射线的强度与样品到射线源的距离的平方成反比。

但是在射线源相同的距离下，毛细管结构可以达到比准直系统高100倍的通量

毛细管机构的优势：

更小的特征测量

毛细聚焦管光学元件的光束尺寸小于100μm，因此可以测量微电子设备、高级电路板、连接器、引脚框架和晶片的**精细特征。它可以测量传统准直器无法测量的区域。

2、更薄的镀层测量

XRF分析仪装有毛细聚焦管，能将更多的X射线管输出聚焦到样品上，从而测量纳米级的镀层。

3：更高的测试量和更高的置信度（测量时间更短，准确性与重复性精度更高）

光学器件产生的更大强度带来高的计数率。在XRF中，更高的计数率意味着更高的精度和更的结果。这可以在任何给定时间段内进行更多的测量且得到置信度更高的结果，从而实现更好的质量控制和更紧密的生产。

4、更容易符合指标

XRF在确定和控制饰面处理厚度过程中的使用可通过用于ENIG（化学镀镍/浸金）和ENEPIG（化学镀镍/化学镀钯/浸金）分析的性能指标IPC-4556来实现，这些测试必须证明在确定公差范围内的性能水平。使用毛细聚焦管更易实现这一性能水平。